磁控溅射镀膜设备,电弧离子镀膜设备,多弧离子镀膜设备
高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难---采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入气体和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳极,真空腔体表面,以及靶源表面。从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术,---的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极,从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是一切源磁控,多弧,离子所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。
---的节能玻璃需要通过真空磁控溅射工艺在玻璃表面依次镀上厚度为纳米级的10多层金属和非金属薄膜,使玻璃对光谱具有选择性透过功能,能透过大部分可见光,不影响采光,又能阻挡红外、远红外、紫外光,阻断热辐射,生产技术---复杂。大面积真空镀膜技术和以此为基础的镀膜设备制造业长期被国外公司垄断,单条生产线的技术引进和设备进口费用---1.5亿元。采用这一工艺生产的产品不仅克服了目前低辐射镀膜玻璃普遍存在的膜层易脱落、易氧化、不能热加工等不足,而且具有可钢化,镀层暴露在---中3个月以上不氧化、可异地加工等优---能。
镀膜技能在刀具、模具等金属切削加工东西方面的运用
在生活中咱们会看到金黄色的、钴铜色的、黑色的等七杂八色的钻头、铣刀、模具等,这些即是通过镀膜技能加工后的涂层东西。
1金黄色的是在刀具上涂镀了tin、zrn涂层。tin是代运用广泛的硬质层资料。
2黑色的是在切削东西上涂了tic、crn涂层。
3钴铜色的是在刀具上镀涂了tialn涂层。
镀膜机工艺在平板显现器中的运用一切各类平板显现器都要用到各品种型的薄膜,并且---一切类型的平板显现器材都需求运用ito膜,以满意通明电器的请求。能够毫不---的说:没有薄膜技能就没有平板显现器材。
第九:镀膜机工艺在太阳能运用方面的运用当需求有用地运用太阳热能时,就要思考选用对太阳光线吸收较多、而对热辐射等所导致的损耗较小的吸收面。太阳光谱的峰值大约在波长为2-20?m之间的红外波段。因为太阳辐射与热辐射光谱在波段上有
差异,因而,为了有用的运用太阳热能,就必须思考选用具有波长挑选特性的吸收面。抱负的挑选吸收面是太阳辐射光谱的波段可见光波段吸收率α为1,在热辐射波段红外波段辐射率ε为0。
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